紫外光对聚合物表面微区域修饰诱导银选择性沉积制备微米级金属图案

摘要：

采用波长为172 nm的真空紫外光刻蚀技术(VUV)对清洗后的PET基片表面性质直接进行微加工,并在其表面上进行选择性无电解镀银处理.通过对紫外光照处理前后的PET基片进行水接触角测试、XPS测试,表征了PET基片在处理前后所具有的不同表面状态.将在真空条件下通过紫外光选择性刻蚀的的PET基片放在化学镀银液中,被还原出来的金属银颗粒就会沉积在PET基片上的被辐射区域.利用光学显微镜和场发射SEM观察镀银后PET基片表面的微银图案.结果表明:紫外光照可使PET基片表面改性,利用真空紫外光刻蚀技术(VUV)对PET基片表面进行区域选择性改性,就可以实现无电解电镀银在PET基片上的选择性沉积,一次性制备出保真性较好的微米级镀银图案.

关键词：PET基片、真空紫外光刻、图案化、选择性、无电解镀银

所属期刊栏目：25

分类号：TG174.442(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金50973087/E0310

在线出版日期：2012-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：99-103