钛合金表面非平衡磁控溅射制备TiN薄膜的冲击磨损性能

摘要：

文中利用非平衡磁控溅射技术在Ti6Al4V合金表面沉积TiN薄膜.固定冲击频率、改变冲击载荷,在小载荷冲击磨损试验机上进行了系列周次的冲击磨损试验,用台阶仪、扫描电子显微镜、X射线衍射仪分析磨痕深度、形貌及相结构,并探讨了TiN薄膜的磨损机理.试验表明:TiN薄膜的冲击磨损机理主要为塑性变形和疲劳剥落,与基体材料作比较,TiN薄膜破坏的临界冲击周次比基体材料Ti6Al4V合金明显提高.

关键词：TiN薄膜、Ti6Al4V合金、冲击磨损性能、磨损机理

所属期刊栏目：23

分类号：TG117.3;O484.4(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学创新研究群体科学基金资助50821063;国家973计划2007CB714704

在线出版日期：2010-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：7-10,14