直流反应磁控溅射CrNX功能装饰涂层的研究

摘要：

采用反应磁控溅射制备不同氮气流量下的CrNX膜,观察薄膜颜色的变化,采用球盘式摩擦磨损仪、台阶仪、金相显微镜测试薄膜的耐磨性能,并采用X射线衍射技术、场发射扫描电镜观测薄膜的相成份以及微观形貌.研究结果表明,随着氮气含量的增加,薄膜颜色由银灰色逐渐过渡为深灰色,薄膜相结构由单相Cr2N转变为Cr2N和CrN混合相继而转变为单相CrN,当氮气流量为20 cm3·min-1以及30 cm3·min-1时薄膜表现出良好的耐磨性.采用高氮气流量的工艺镀中间层,低氮气流量的工艺镀表面层,复合薄膜的耐磨性大幅度提高,同时能够获得美观的银灰色外观.

关键词：反应磁控溅射、CrNX、耐磨性

所属期刊栏目：23

分类号：TG174.44;TB43(金属学与热处理)

资助基金：浙江省科技攻关项目2008C21055;浙江省重大科技专项2009C11SA550048

在线出版日期：2010-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：38-41