10.3969/j.issn.1007-9289.2010.01.007
反应磁控溅射法制备(Ti,Al)N薄膜的力学性能
采用镶嵌靶反应磁控溅射技术,通过调节氮分压及基体偏压在M2高速钢基体表面制备了一系列耐热的 (Ti,Al)N硬质薄膜,并用XRD,EDS及纳米压入法、划痕法等方法研究了(Ti, Al)N薄膜的成分、相结构与力学性能的关系.结果表明,氮分压和基体偏压对(Ti, Al)N薄膜取向及Ti、Al、N原子含量有明显影响,从而导致薄膜硬度及膜基结合性能发生变化.研究中,在氮分压为33.3×10~(-3) Pa、基体偏压为-100 V时制备的(Ti, Al)N薄膜力学性能最优,其纳米硬度为43.4 GPa,达到40 GPa超硬薄膜的要求.
(Ti、Al)N薄膜、磁控溅射、氮分压、基体偏压、力学性能
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TG174.444(金属学与热处理)
2010-04-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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