温度对化学气相沉积钨组织与表面形貌的影响

摘要：

以WF_6和H_2为原料,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钨涂层.分析研究了不同沉积温度(500 ℃, 600 ℃, 700 ℃)沉积层显微组织、表面形貌、表面粗糙度及相关机制.试验分析表明:随沉积温度升高,沉积速率加快,涂层组织柱状晶生长取向趋于杂乱;沉积层表面形貌发生明显改变,表面粗糙度显著增加.杂质颗粒对沉积组织有显著的影响,造成沉积表面粗糙度显著增加.

关键词：化学气相沉积、钨、组织、表面形貌

所属期刊栏目：23

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2010-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33