聚合物抛光垫修整和抛光的研究

摘要：

通过试验了解聚合物抛光垫的修整和抛光原理,分别用尼龙、聚碳酸酯和聚氨酯在含3 %氧化铝颗粒的抛光液中与铜销对磨,测定修整后的抛光垫的表面性能,测量抛光试验中抛光垫的磨损和摩擦因数.结果表明,聚碳酸酯和聚氨酯抛光垫的接触角随表面粗糙度的增大而增大,尼龙则趋向于相反的规律;修整后的表面粗糙度对尼龙和聚碳酸酯抛光垫磨损机制的影响要大于对聚氨酯抛光垫磨损机制的影响;之前的研究表明,在化学机械抛光过程中,摩擦会引起材料的转移,在研究中,更进一步地考察了修整和抛光过程中材料转移的效应;与尼龙和聚碳酸酯相比,聚氨酯的化学、材料和摩擦学性能更为稳定.这使得聚氨酯成为化学机械抛光中较独特的材料.

关键词：修整、抛光、转移层、聚合物磨损

所属期刊栏目：21

分类号：TG175(金属学与热处理)

资助基金：美国国家自然科学基金NSF CMS-0070941;国家自然科学基金CNS-0070941;REU,阿拉斯加EPSCoR项目;阿拉斯加Space Grant项目;Rippey公司;Hysitron有限公司支持项目

在线出版日期：2008-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6