溶胶-凝胶制备二氧化钒薄膜的价态研究

摘要：

采用无机溶胶-凝胶法制备了VO2热致变色薄膜,利用XPS系统地研究了烘干温度、真空热处理温度以及溶胶浓度对VO2薄膜中钒价态的影响.结果表明,保持其它工艺参数不变,薄膜中V5+被还原的程度随烘干温度和真空热处理温度升高而增大.当烘干温度、烘干时间和真空热处理时间以及真空气压相同时,随溶胶浓度减小,VO2薄膜中V5+被还原程度存在真空热处理温度临界点,当溶胶浓度配比为1:4～1:3时,临界温度为480 ℃;溶胶浓度配比为1:3～1:2时,临界温度为400 ℃.制备高纯VO2薄膜的优化工艺参数组合为溶胶浓度配比1:3,250 ℃干燥2 h后于450 ℃氢气还原3 h(保持真空度为0.5 Pa).

关键词：VO2薄膜、热致变色、溶胶-凝胶、XPS

所属期刊栏目：18

分类号：O648(物理化学（理论化学）、化学物理学)

在线出版日期：2005-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：39-43