氮化钛铝薄膜的制备及其摩擦学性能的研究

摘要：

用多弧离子镀方法在高速钢的基体上沉积了不同钛铝比例的氮化钛铝薄膜,研究了不同铝含量对薄膜性能的影响,采SEM、XRD、AES、表面形貌仪、显微硬度计、划痕仪对薄膜的微观结构和力学性能进行了全面测试,用球盘试验机测试了薄膜的摩擦因数,在此基础上讨论了铝在薄膜中的作用.结果表明Al的引入使膜层的硬度明显提高.所有的(Ti,Al)N试样皆由面心立方晶格(fcc)的(Ti0.5Al0.5)N相组成.随着Al含量增加,GCr15与(TiAl)N膜层之间的摩擦因数下降,减摩性能提高,耐磨性能增强.(TiAl)N涂层可以显著提高硬质合金刀具的使用寿命.

关键词：多弧离子镀、薄膜、(TiAl)N、摩擦学性能

所属期刊栏目：17

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2004-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：33-37