基底材料和温度对CVD金刚石沉积的影响

摘要：

使用热丝CVD装置在钢渗铬层、三氧化二铝、YG8硬质合金基底上沉积了金刚石膜.结果表明,在700~900℃温度范围内,热稳定性好的基底材料有利于金刚石晶核的形成.硬质合金和三氧化二铝的热稳定性都比钢渗铬层好,在700~900 ℃能获得107cm-2以上的形核密度,而钢渗铬层超过800 ℃后,形核密度低于106 cm-2.

关键词：化学气相沉积、金刚石、形核密度

所属期刊栏目：17

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：广东省自然科学基金990548;韶关学院校科研和教改项目314-140366;高等学校博士学科点专项科研项目1999056121

在线出版日期：2004-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：32-34