铝质基体上Ti(C,N)/TiN多元多层膜工艺参数研究

摘要：

首先在大范围内调节负偏压和基体温度两个参数,实现在铝质材料基体上沉积与基体结合良好的TiN膜,在此基础上通过调节N2、C2H2工作气氛流量比及Ti(C,N)、TiN膜层的层数,沉积了3类不同的膜,并对其力学与摩擦学性能进行了考察.结果表明:在(N2+C2H2)总流量一定的情况下,C2H2流量增大,则使Ti(C,N)膜层中含C量增多,膜层硬度提高,但韧性变差,表面变粗糙;在总厚基本不变的情况下,层数增多,单层变薄,使膜材晶粒细化,硬度提高,韧性变好.在3类膜中,1#膜C2H2流量适当且膜层数最多(6层),其摩擦学性能表现最好,临界荷载为76 N,显微硬度为1 911 HV0.1,与基体相比,耐磨性提高了10倍多.

关键词：多弧离子镀、铝质材料、多元多层膜、摩擦学

所属期刊栏目：16

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：38-41