半导体器件的检测与失效分析

摘要：

失效分析技术是研究电子元器件产品失效机理、提高产品良率和可靠性的重要手段.随着现代半导体制造技术从深亚微米时代进入纳米时代,开展失效分析的难度越来越大,必须借助更加先进、精确的设备与技术,辅以合理的失效分析,才能提高失效分析的成功率.本文就半导体器件的失效分析与检测进行探讨.

关键词：半导体器件、检测、失效分析

在线出版日期：2019-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：34-36