微小型光开关侧壁反射镜光路传输效率优化方法

摘要：

提出利用电感耦合等离子体和聚焦离子束刻蚀工艺相结合的加工方法,以提高微小型光开关侧壁反射镜的表面粗糙度,进而提升光路传输效率.利用扫描电子显微镜和原子力显微镜对微小型光开关侧壁反射镜表面粗糙度进行表征,并开展了光路传输效率测试实验.结果表明,经聚焦离子束刻蚀后,微小型光开关侧壁反射镜表面粗糙度由190 nm减小到56 nm,光路传输效率由10.2％提高到39.1％.

关键词：半导体工艺、微小型光开关、聚焦离子束、侧壁反射镜粗糙度、光路传输效率

所属期刊栏目：43

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2022-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：56-60