基于MEMS加工工艺的亚毫米波肖特基单端混频器

摘要：

基于MEMS技术完成了一个360GHz肖特基混频器的设计与加工制作。由于亚毫米波电路尺寸微小，通常的蚀刻方法不能满足加工精度要求，而MEMS工艺通过溅射、光刻、电镀等流程完全可达到亚毫米波电路的精度要求。由此得到的混频电路尺寸非常紧凑，可以满足小型化应用的需要。

关键词：毫米波、混频器、单端、肖特基二极管

所属期刊栏目：32

分类号：TN773.2(基本电子电路)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：53-56