一种非完全覆盖多镀层微圆板谐振器热弹性阻尼通用计算框架

摘要：

热弹性阻尼(thermoelastic damping,TED)是决定微机械谐振器品质因子上限的关键参数之一.该研究首次提出了一种计算具有多个非完全覆盖镀层微圆板谐振器TED的通用理论框架.该解析模型可退化到完全覆盖双层微圆板TED模型,数值方法同样验证了当前模型的有效性.同时提出可用工程设计领域快速计算的简单模型,并分析了该简单模型的适用范围.最后研究了具有2个非完全镀层微圆板TED频率谱特性,发现了频率谱的三Debye峰现象.

关键词：微机械谐振器、热弹性阻尼(TED)、品质因子、热弹性理论

所属期刊栏目：42

分类号：TH113;TH0343

资助基金：国家自然科学基金;MEMS教育部重点实验室;中国博士后科学基金

在线出版日期：2023-02-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：235-243,275