压电式二维微定位平台的率相关迟滞建模

摘要：

为了描述压电式多维微定位平台的率相关迟滞非线性特性,提出了一种基于Hammerstein模型的建模方法.以一种二维微定位平台为对象,平台动态模型是由静态迟滞非线性部分和一个线性动态系统部分串联组成.静态非线性部分由改进的Prandtl-Ishlinskii模型描述,线性动态系统部分由外因输入自回归模型(ARX)模型描述,并给出了模型参数辨识方法.为了验证所建立的Hammerstein模型有效性,搭建了实验平台进行实验验证.实验结果表明,对平台施加不同频率电压信号,由Hammerstein模型得到的预测位移和实测位移相对误差范围为1％～5％,预测位移与实测位移接近,说明所建立的模型能精确描述微定位平台的率相关迟滞特性.

关键词：压电陶瓷驱动器、Hammerstein模型、微定位平台、率相关迟滞特性

所属期刊栏目：39

分类号：TH703;TN384(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金;江西省杰出青年人才资助计划项目;江西省自然科学基金;江西省教育厅科学技术研究项目;江西理工大学清江青年英才支持计划资助

在线出版日期：2020-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：104-110,131