一类静电驱动双边电容型微谐振器振动系统的复杂动力学特性研究

摘要：

以一类静电驱动双侧平行板电容型微谐振器为研究对象,基于分岔理论研究微结构的复杂动力学行为的机制.通过分析微结构动力系统的静态分岔,发现直流偏置电压的增大会直接引起微结构的静态吸合.在此基础上获得系统的多稳态解的解析形式,解析预测与数值结果吻合,研究发现系统的振动跳跃来源于双平衡点失稳引起的多稳态现象.进而发现继续驱动交流电压幅值的增大则会引起微结构的混沌和吸合不稳定现象.该结果对静电驱动微谐振器的设计中如何避免出现复杂响应具有实际意义.

关键词：微谐振器、多稳态现象、吸合不稳定、混沌

所属期刊栏目：37

分类号：O322;TP20(振动理论)

资助基金：国家自然科学基金面上项目11472176

在线出版日期：2019-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：18-23,37