微薄膜多场耦合非线性振动分析

摘要：

将微谐振压力传感器谐振薄膜简化为微薄膜多场耦合系统,给出考虑分子力作用时微薄膜多场耦合动力学方程,利用Linz Ted-Poincaré方法求得其非线性振动固有频率与振型方程,研究了分子力对薄膜非线性固有频率及自由振动的影响规律,利用微加工技术制作出谐振薄膜,利用静电激励-电容检测方法对薄膜非线性固有频率进行了测试.结果表明:当薄膜尺寸较小时,分子力对于微薄膜多场耦合非线性振动的固有频率具有较大影响.研究结果对于压力传感器进一步微型化具有指导意义.

关键词：分子力、多场耦合、非线性振动、MEMS

所属期刊栏目：36

分类号：TH113.1

资助基金：河北省重点基础研究项目13961701D;河北省博士研究生创新资助项目CXZZBS2017043

在线出版日期：2018-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：51-57