直线超声电机驱动的精密运动平台位移分辨率

摘要：

由于纳米级精度运动平台在电子隧道扫描显微镜、光刻机及精密医疗设备有广泛需求，传统驱动方式中大行程、高精度难以同时实现，而直线超声电机直接驱动的精密运动平台可望解决该问题。研究所建大行程直线超声电机系统位移分辨率影响因素，通过死区时间理论及启停实验曲线分析探索运动平台可能达到的最小步距；借助XL－80激光干涉仪，实验研究驱动波形、预压力及驱动电压对平台步距影响。结果显示，运动平台分辨率可达25 nm。

关键词：直线超声电机、平台、实验、位移分辨率、步距

分类号：TM356(电机)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51408311，91223201，51275235；江苏省自然科学基金BK2012797

在线出版日期：2015-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：178-182