激振底座与叠层芯片悬臂相互作用研究

摘要：

利用动态频率扫描对叠层芯片进行激振，用双探头激光多普勒测振仪同时测量底座激振下悬臂叠层芯片底座及悬臂端速度，对比分析二者响应速度频谱获得两悬臂与底座相位差；分析悬臂共振时对底座影响及两悬臂相互作用关系，准确获得芯片悬臂端共振频率。该实验方案合理可行，对微结构动力学分析及精确数值仿真具有一定指导意义。

关键词：叠层悬臂结构、双探头激光测振、共振频率、频率响应曲线、相位差、动态频率扫描

分类号：TB52+3(声学工程)

资助基金：国家重点基础研究发展计划2009CB724203

在线出版日期：2014-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：97-100