摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺

摘要：

提出了一种新型的摇动质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺。该种陀螺，在结构上采用完全对称的圆盘式结构，在原理上，利用压电体声波的简并模态，而且摇动质量又增强体声波驱动和敏感效应，再由柯氏效应，获得输入角速度。文章介绍了结构，原理，同时又利用仿真分析，优化了参数，给出了该陀螺可有效工作在25172．8 Hz的体声波二波腹模式下，频率分裂184．6 Hz，具有陀螺效应，仿真得到灵敏度为1．81μV/rad/s。最后，利用MEMS技术，对微陀螺进行了实际加工，并得到了样品。

关键词：压电、体声波、柯氏效应、灵敏度

分类号：TH82

资助基金：教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目NCET -10-0593；微米／纳米加工技术重点实验室基金资助项目9140C790405110C7904；上海交通大学研究生创新基金资助项目Z -340-014；科学基金项目2013ZC57003；预研基金9140A09010312JW03104的支持

在线出版日期：2014-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：104-108