基于MEMS的高g值加速度计及在炮弹侵彻双层钢靶试验中的应用

摘要：

为获取穿甲弹侵彻双层钢靶板过程的高g值冲击过载数据,研制了具有四端全固支的梁岛结构压阻式MEMS的高g值传感加速度计.该加速度计梁根部和端部采用倒角结构,增强了器件强度;采用改进型环氧树脂与不锈钢壳体相结合的强化封装方法,提高了加速度计的抗过载能力;该加速度计与具有特种缓冲结构的高过载电子存储记录器组成了一体化的高过载测试装置.在穿甲弹侵彻双层钢靶的试验中获取了最高峰值达43万g的完整侵彻过程数据,对数据进行截止频率为10 kHz低通滤波后得到侵彻第一层钢靶的峰值过载为-83 281 g,侵彻第二层钢靶的峰值为-115 185 g.试验结果表明该加速度计是一种理想的高过载测试装置,能为相关工程设计及实践提供重要依据.

关键词：MEMS、高g值传感器、侵彻、双层钢靶、滤波分析

所属期刊栏目：32

分类号：TP212;O384(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金重点项目50535030

在线出版日期：2013-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：165-169