一类静电驱动微结构谐振传感器的吸合不稳定性研究及控制

摘要：

以一类静电驱动微结构谐振传感器为研究对象,基于安全域思想研究了系统直流偏置电压和交流激励电压幅值引起的结构吸合不稳定现象.运用Melnikov函数法得到引起微结构吸合不稳定的系统参数门槛值,且运用四阶Rung-Kutta方法和点映射方法数值地验证了交流电压幅值对系统的吸合区域的影响规律.结果表明,直流偏置电压的增大均易引起微结构的吸合效应,而交流电压幅值的增大则会导致微结构的吸合不稳定.通过实施时滞位移反馈控制来抑制系统的吸合不稳定,数值结果验证了该控制方法的有效性.所得结果在静电驱动微机电系统的设计领域有潜在的应用价值.

关键词：安全域、微机电系统、吸合、分形、时滞、反馈

所属期刊栏目：32

分类号：O322;TP202(振动理论)

资助基金：国家自然科学基金青年基金项目10902071;上海市教委晨光计划项目11CG61;上海市教育委员会重点学科建设项目J51501;上海应用技术学院科学技术发展基金KJ2011-06;上海应用技术学院重点学科建设项目;上海工程技术大学高水平项目培育专项项目2012gp36

在线出版日期：2013-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：8-13