初应力对压电薄膜体声波谐振器厚度拉伸模态谐振特性的影响

摘要：

研究了初应力对压电薄膜体声波谐振器(FBAR)厚度拉伸模态谐振特性的影响.利用含初应力压电材料的压电弹性基本方程,推导出理想FBAR在正弦激励电压作用下的振动方程.然后根据边界条件,求出问题的解.得到串联和并联谐振频率,并给出具体的数值算例,讨论了初应力对谐振频率、带宽和有效机电耦合系数的影响.所得结果对于提高和改善FBAR的性能有参考意义.

关键词：薄膜体声波谐振器、初应力、谐振频率、带宽、有效机电耦合系数

所属期刊栏目：32

分类号：TN015;TN713;TN752(一般性问题)

资助基金：国家自然科学基金重点项目10932004;浙江省重点科技创新团队2011R09025-02;浙江省自然科学基金LY12F01015浙江省教育厅重点科研项目Z201018143;宁波市自然科学基金2011A610183;浙江省重中之重学科开发基金ZJ1007

在线出版日期：2013-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：146-148,156