微机电数字地震检波器设计及误差标定补偿方法

摘要：

研制一种新型数字硅MEMS地震检波器,集成三支硅MEMS陀螺与加速度计,可提供三维加速度、速度、角速度及位移等振动信息,可提高检波器的信息量及效率；提出的基于无需指北单轴速率转台的硅MEMS地震检波器六位置正反速率标定方法,不仅可提高标定精度与效率,且可减小标定工作量.并经实验验证该数字硅MEMS地震检波器样机及标定补偿方法的可行性与适用性.

关键词：微机电系统、地震检波器、加速度计、陀螺、误差标定

所属期刊栏目：32

分类号：TP212;P315.62(自动化技术及设备)

资助基金：中央高校基本科研业务费专向资金创新团队资助计划项目ZY20120103;中国地震局教师科研基金20120104

在线出版日期：2013-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：84-89