10.3969/j.issn.1000-3835.2013.05.022
一种新型三维多方向敏感的非硅微机械惯性开关
基于非硅表面微加工技术,设计并制造一种新型三维多方向敏感的微惯性开关.选用弹簧-质量块-阻尼的典型碰撞结构,主要由可动电极悬臂梁弹簧-质量块系统、水平固定电极、垂直复合柔性固定电极三部分组成.利用ANSYS有限元软件对器件进行模态和动力学碰撞仿真分析,并对该微机械惯性开关进行落锤冲击试验,结果表明,在水平和竖直方向的阈值均为50 ~60 g,接触时间可稳定在40μs以上.
惯性开关、微机电系统、多向敏感
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TH703(仪器、仪表)
十二五预先研究项目51308050304;教育部重点支撑计划项目625010105
2013-05-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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