一种新型三维多方向敏感的非硅微机械惯性开关

摘要：

基于非硅表面微加工技术,设计并制造一种新型三维多方向敏感的微惯性开关.选用弹簧-质量块-阻尼的典型碰撞结构,主要由可动电极悬臂梁弹簧-质量块系统、水平固定电极、垂直复合柔性固定电极三部分组成.利用ANSYS有限元软件对器件进行模态和动力学碰撞仿真分析,并对该微机械惯性开关进行落锤冲击试验,结果表明,在水平和竖直方向的阈值均为50 ～60 g,接触时间可稳定在40μs以上.

关键词：惯性开关、微机电系统、多向敏感

所属期刊栏目：32

分类号：TH703(仪器、仪表)

资助基金：十二五预先研究项目51308050304;教育部重点支撑计划项目625010105

在线出版日期：2013-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：104-107,118