底座激振下微型叠层芯片共振频率检测

摘要：

为测试微悬臂芯片的动态特性,建立以压电陶瓷为激振底座的测试系统.采用白噪声、稳态正弦和快速正弦(啁啾信号)扫频方式激励微叠层悬臂芯片,由多普勒测振仪测试芯片动态响应.通过分析压电陶瓷阻抗变化与芯片动态响应,获得的频率对应于压电陶瓷激振器所激励叠层芯片的一阶共振频率,可作为微结构和器件动态分析的测试方案.

关键词：压电陶瓷激振器、底座激振、多普勒测振仪、阻抗分析、叠层芯片、共振频率

所属期刊栏目：31

分类号：TB52+3(声学工程)

资助基金：国家重大基础研究发展计划项目2009CB724203;国家高技术研究发展计划2009AA04Z307

在线出版日期：2012-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：153-157