多线切割机床动力学分析

摘要：

多线切割技术是半导体硅片加工产业中的一个新生力量,它以独特的优势迅速成为当前硅切片加工中最先进的方法.机床结构的动态性能直接关系物料的加工质量,为保证机床运行的稳定性,本文对整机动力学性能进行分析,研究机械结构的合理程度.建立本体结构三维模型后,应用有限元方法基于ANSYS软件求解模态,得到各阶固有频率和振型；运用动力学软件ADAMS分析机械系统振动特性,求得机床各关键部件的频率响应.对机构设计的正确性做出理论判断,并为进一步改进指出方向,有利于提高多线切割机的性能和提高加工质量.

关键词：多线切割机、动力学、模态分析、振动特性

所属期刊栏目：30

分类号：TH113.1

资助基金：高等学校学科创新引智计划资助B07018

在线出版日期：2011-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：169-172