超声换能器接触界面的非线性谐波

摘要：

超声波在换能器中的非线性不仅引起劈刀振动的混乱而且导致芯片键合的失效,建立了超声波在接触界面传播的模型,并进行了数学仿真,最后在试验平台上采用多普勒测振仪测量了不同接触界面压力条件下的劈刀的振动波形,用剪切强度测试仪测试了键合强度.波形的畸变和高次谐波的产生是由于接触界面层的非线性引起的,为了保证键合强度应该将变幅杆和劈刀之间的拧紧力矩设定在一个合适的范围内,使接触界面层材料的二阶非线性系数最小.可以通过检测劈刀的高次谐波来反映超声键合的强度.

关键词：非线性、接触界面、谐波、换能器

所属期刊栏目：29

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金20060533068;国家自然科学基金50605064;湖南省科技计划项目2007FJ3098

在线出版日期：2010-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：138-141