10.3969/j.issn.1000-3835.2010.03.036
基于压电致动器的微动隔振平台系统
为实现微仪器隔振平台的自适应控制,对第三代压电致动器顶杆部件进行了改进,并将其直接应用于微隔振系统,隔振效果不是很理想.为此,对致动器进行了系统在线建模,从理论上分析了导致结果不理想的原因,给出了一种改进方法,通过理论建模分析和试验研究,结果表明:该方法虽然降低了致动器位移增益,但具有较好的隔振效果.
微隔振平台、压电陶瓷、致动器
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TB12(工程基础科学)
2010-05-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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147-149,196