弹性悬臂微梁谐振系统挤压膜阻尼新解析模型

摘要：

正确预测挤压膜阻尼对于MEMS器件设计是至关重要的.过去,弹性悬臂微梁挤压膜阻尼的解析计算一般采用Darling等提出的模型.但基于格林函数法的Darling模型简化了流-固耦合关系.从弹性微梁振动方程和雷诺方程的耦合关系出发,提出了新的弹性悬臂微梁挤压膜阻尼解析计算模型,导出了解析形式的等效阻尼系数和等效刚度系数.这两个系数完全由梁和挤压膜气体的物理性质决定.最后,通过与Vignola实验结果、Darling模型计算结果、ANSYS/FLOTRAN计算结果相比表明,所提出模型的计算精度有较明显的提高.

关键词：挤压膜、弹性悬臂微梁、MEMS

所属期刊栏目：27

分类号：TN402;TB53(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金50675034;50305002;东南大学青年教师教学科研资助计划

在线出版日期：2008-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,25