考虑边缘效应的扭转微镜的动力响应分析

摘要：

目前对扭转微镜力学特性方面的研究主要围绕静态特性展开,对于其动态特性的分析,已经给出了非耦合与耦合两种模型,但模型中的静电驱动力与驱动扭矩都是建立在无穷大板电容的基础上.而实际应用中的扭转微镜是有限尺度的,即在边缘处电力线会发生泄漏和弯曲,从而产生边缘效应.引入有限板电容的静电力修正公式,计及边缘效应对扭转微镜动态响应的影响.由于在计及边缘效应后,系统方程的驱动力项比较复杂,不能导出其解析表达式,故采用了数值积分方法进行相关处理,并采用迭代修正齐次扩容精细积分法求解非线性动力方程,得到了稳定、精确的数值解.计算结果显示,动态响应幅值在计及边缘效应后比未计及时要大,且扭转微镜的尺寸参数对边缘效应的影响有很大的关联性.

关键词：MEMS、扭转微镜、边缘效应、迭代修正齐次扩容精细积分法、非线性振动

所属期刊栏目：26

分类号：O322;TT211(振动理论)

资助基金：广西自然科学基金桂科自0481028;广西高校百名中青年学科带头人资助计划

在线出版日期：2008-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：122-126