压电薄膜微传感器振动模态的仿真分析

摘要：

以压电本构方程为基础,建立了压电薄膜微传感器机电耦合的有限元模型,采用有限元分析软件ANSYS7.0对压电薄膜微传感器进行了模态分析,同时分析了压电薄膜微传感器的结构尺寸对振动模态的影响,探讨了影响压电薄膜微传感器工作稳定性和响应速度的关键因素,结果表明为了提高压电薄膜微传感器的工作稳定性和响应速度,应该在符合工艺要求和保证其它特性的前提下,尽量减小微悬臂梁结构长度,增加多晶硅层厚度,限制PZT层厚度,而微悬臂梁宽度的影响较小.

关键词：压电薄膜、有限元分析、耦合场、微传感器、模态分析

所属期刊栏目：25

分类号：TP2(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金90207022;武器装备预研基金51411040105DZ0141

在线出版日期：2006-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：165-169