基于双处理器的等离子体电源控制系统设计

摘要：

针对现有等离子体电源控制系统稳定性差,动态响应慢以及无法适应多种等离子体负载等问题,该文提出了一种基于双处理器的等离子体电源控制系统,通过前级双管级联Buck-Boost电路以及全桥逆变电路串联谐振电感实现了电源对多种等离子体负载的适应性,同时利用DSP和STM32双处理器分别进行电源管理和系统级控制,保证了在电源功率电路精确控制时还能持续对电源状态进行实时监测,从而提高了电源系统的控制精度和稳定性.通过研制样机验证了该电源控制系统的有效性,表明了该设计具有实际应用价值.

关键词：等离子体电源、双处理器、STM32、DSP

所属期刊栏目：37

分类号：TN86(无线电设备、电信设备)

资助基金：东莞市引进第三批创新科研团队项目;国家自然科学基金;东莞市科技装备动员项目;东莞市科技装备动员项目

在线出版日期：2022-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：11-15,19