宽温区高精度压力传感器补偿方法研究

摘要：

为满足航空航天、船舶等领域对高精度压力传感器的需求,针对硅压阻压力传感器温度漂移大的问题,该文提出一种采集电路和补偿方法.根据压敏芯体在不同温度下的压力输出特性,采用最小二乘多项式拟合与三次样条插值相结合的方法,对传感器芯体的温度灵敏度和非线性进行补偿,使传感器在较宽的-30～90℃温度区间内,输出精度达到±0.04％FS.该电路和算法可规范化,工程应用操作简便.

关键词：硅压阻压力传感器、最小二乘多项式拟合、三次样条插值、温度灵敏度、非线性

所属期刊栏目：37

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2022-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：85-88