基于SURF算法的MEMS平面微运动测量

摘要：

针对MEMS等微小目标的高频面内振动的高精度快速检测的需要,提出了基于SURF算法的特征点匹配测量方法.该方法在利用频闪微视觉系统采集MEMS周期内频闪图像序列的基础上,使用SURF与RANSAC算法,对序列中相邻图像进行特征点的检测与匹配,再去除匹配结果中的粗大误差,获取待测目标的亚像素位移,并转化为实际的空间距离.试验结果表明,该方法可以达到100 nm的空间分辨率,实现对MEMS面内振动的高精度快速测量,满足快速高精度检测的要求.

关键词：图像处理、平面微运动测量、SURF算法、频闪成像

所属期刊栏目：35

分类号：TM93;TH703.8

资助基金：国家重点研发计划项目2018YFF010132-03

在线出版日期：2020-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

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