高精度薄膜压力传感器的研制

摘要：

从理论上分析了薄膜压力传感器误差产生的原因,针对封闭全桥的热零点漂移和热灵敏度漂移采取了不同的方法进行补偿.在某一桥臂上并联温敏电阻补偿热零点漂移;在恒压源产生电路中接入温敏电阻调节恒压源的温度系数以补偿热灵敏度漂移.温敏电阻均采用离子束溅射工艺制作在压力敏感芯片上.给出了各个电阻的计算公式和选取原则,以及温度敏感电阻的设计和制作工艺.该方法将溅射薄膜压力传感器的精度至少提高了1倍.

关键词：薄膜压力传感器、封闭全桥、补偿、高精度

所属期刊栏目：35

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2020-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：79-82,88