10.3969/j.issn.1001-9944.2019.02.006
半导体缺陷监控的一种智能取样派工方案
缺陷监控是半导体制造中考量产品表现以及工艺风险的关键一环, 随着工厂产量的不断增长, 机台的不断增多, 对于快速侦测出问题机台, 并及时采取措施变得越来越重要.该文提出了一种针对缺陷监控的智能取样派工方案, 它通过四个模块实现对监控取样率的自动实时调整, 实现对晶圆优先级的合理排序, 同时对缺陷结果的分析来优化扫描方法, 并能及时调整机台派工排货比例.这种智能方案通过不断自动调节能够更快速的侦测到工艺的异常, 提升缺陷监控效率, 从而更有效的改善工艺表现.
缺陷监控、取样率、优先级
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TP277(自动化技术及设备)
2019-06-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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