半导体缺陷监控的一种智能取样派工方案

摘要：

缺陷监控是半导体制造中考量产品表现以及工艺风险的关键一环, 随着工厂产量的不断增长, 机台的不断增多, 对于快速侦测出问题机台, 并及时采取措施变得越来越重要.该文提出了一种针对缺陷监控的智能取样派工方案, 它通过四个模块实现对监控取样率的自动实时调整, 实现对晶圆优先级的合理排序, 同时对缺陷结果的分析来优化扫描方法, 并能及时调整机台派工排货比例.这种智能方案通过不断自动调节能够更快速的侦测到工艺的异常, 提升缺陷监控效率, 从而更有效的改善工艺表现.

关键词：缺陷监控、取样率、优先级

所属期刊栏目：34

分类号：TP277(自动化技术及设备)

在线出版日期：2019-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：24-26