SOI宽温区微型智能压力传感器的设计与实现

摘要：

该文首先介绍了SOI压阻式压力传感器的基本原理;其次,通过敏感芯片制备工艺、芯体的封装工艺、智能化温度补偿技术等方面的研究,设计了基于MEMS的SOI宽温区微型智能压力传感器的工艺技术;第三,详细介绍南京盛业达公司研制SOI宽温区微型智能压力传感器的结构和性能.结果表明,该产品具有宽温度工作范围、精度高、稳定性好、结构紧凑、外形美观等优良特性.

关键词：硅氧化物绝缘体、宽温区、压力传感器、工艺研究、结构性能

所属期刊栏目：31

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2017-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：18-22