MEMS加速度计的温度误差建模及补偿

摘要：

弹载惯导系统通常应用于温度变化剧烈的环境,为了降低环境温度对其组件MEMS加速度计测量的影响,该文对加速度计在不同温度下的输出进行了分析.而后对加速度计零偏和标度因数进行温度建模,通过温变实验建立了加速度计温度补偿模型.利用此模型对加速度计在不同温度下的输出进行补偿.补偿结果表明,所建立的温度补偿模型可以有效地补偿加速度计温度测量误差,测量误差可降低到10-2g～10-3g,为其应用于后续惯性导航解算奠定一定的基础.

关键词：微机电系统加速度计、误差、温度建模、温度补偿

所属期刊栏目：31

分类号：TH701(仪器、仪表)

资助基金：山西省自然科学基金项目2014011021-5

在线出版日期：2016-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：64-67