10.3969/j.issn.1001-9944.2014.10.002
高速光纤链路通信HSSL的设计与实现
光刻机工件台控制系统是一种典型的分布式控制系统,定位精度和运动精度要求达到纳米级,其复杂的控制系统要求具有强实时性和高度同步性.针对上述特点,该文设计了一种基于光纤通信的高速串行链路(HSSL)互联方案.该设计中自定义光纤传输通信协议,包括数据帧、应答帧、触发帧.并通过FPGA编程实现光纤传输通信协议.通过实验表明,该光纤通信传输数据具有正确性、高可靠性、抗电磁能力强等特点,具有重要的工程应用价值.
光刻机工件台、高速串行链路、通信协议、FPGA
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TP273.4(自动化技术及设备)
2014-11-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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