扩散硅压力传感器的高精度误差补偿算法

摘要：

扩散硅压力传感器的传输特性受温度影响较大,必须采用某种手段将传感器的输入压力与温度进行解耦,从而实现对压力传感器输出的有效补偿,进而得到准确可靠的压力测量值.文中分析了一般扩散硅压力传感器的误差组成,针对误差提出了一个简单而又高精度的补偿模型,建立了有效算式,最后通过实例验证了算法的正确性,其精度可达到0.1％FS以下.

关键词：扩散硅压力传感器、温度、非线性、误差补偿、满量程

所属期刊栏目：27

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：上海市“优青基金”资助项目

在线出版日期：2012-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：53-56