微气体传感器测试系统的恒流配气系统研究

摘要：

针对恒流混合气体在微气体传感器实验中的重要性,根据道尔顿分压定律和阿马伽定律,采用质量比动态配气法,实现了实验用恒流配气系统.基于NI USB6215系列多功能数据采集卡,以LabVIEW8.5为软件开发平台,设计了恒流配气系统软件控制界面.通过计算机严格控制MFCs流量调节,配比出不同浓度氢气混合气体.气体流量始终保持在1L/min,上下波动不超过10mL/min.分析了气体流量值出现波动的原因,为进一步完善恒流配气系统提供了参考.

关键词：质量流量控制器、恒流、LabVIEW、配气系统

所属期刊栏目：26

分类号：TP212.2(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金50875122;江苏省自然科学基金BK2007185;江苏省高校自然科学基金项目07KJB460044

在线出版日期：2012-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10