基于光学微腔的MOEMS微位移传感器

摘要：

该MOEMS微位移传感器是一种基于光波导环形谐振腔的悬臂梁式传感器,通过一系列的微加工技术集成制造在SOI材料上.光学微腔是一种新型的光学谐振腔,当其在回音廊模式下(WGM)共振时可以检测到规则的透射谱图,该传感器通过测量透射谱的偏移来确定位移量.利用有限元分析法可以得到悬臂粱结构的最佳尺寸参数,利用时域有限差分方法(FDTD)可以得到环形腔投射谱的偏移特性.当使用跑道型谐振腔时,该新型传感器最高可以探测到10nm左右的位移量.

关键词：位移传感器、环形谐振腔、光波导、微光机电系统

所属期刊栏目：26

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家973规划前期项目2009CB326206;山西省高等学校中青年拔尖创新人才支持计划资助项目;山西省高等学校优秀青年学术带头人支持计划资助和山西省研究生优秀创新项目20093076;太原市科技立项项目资助100115129、100115122

在线出版日期：2011-06-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-3,16