基于时间约束集的集束型设备群调度方法

摘要：

随着300 mm晶圆的加工技术问世,工业界开始采用一种全新的晶圆制造设备—集束型设备群(Multi-cluster tools).对于单个集束型设备(Single-cluster tools)调度研究已比较成熟,并提出了多种调度方法,然而对于集束型设备群调度研究尚处在一个起步阶段.本文对带有驻留约束且具有多种晶圆类型的集束型设备群的调度问题进行了研究,在引入时间约束集概念的基础上建立了调度模型,同时,提出了一种逐级回溯的调度方法,并对调度算法进行了仿真实验分析.仿真结果表明本文提出的算法是有效且可行的.

关键词：集束型设备群、驻留约束、时间约束集、调度

所属期刊栏目：38

分类号：TN305;TP301.6(半导体技术)

在线出版日期：2012-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：479-485