网格技术在半导体生产调度中的应用研究

摘要：

网格技术是一种新型的分布计算技术,致力于解决复杂度很高的新应用问题.随着全球半导体生产规模的日益扩大,半导体生产线的优化调度问题成为学术界及工程界研究的热点.半导体生产线具有许多特殊的特点,诸如生产规模大、工件数量多、随机性大、加工成本高、高度的可重入性等,这些特点决定了原有的调度策略已不能满足半导体生产线的要求.鉴于网格技术在处理设备可扩展性和资源平衡性上的优势,主要研究将网格技术的思想用于半导体生产线的调度中.利用网格计算中的负载向量和失衡因子的概念,来控制半导体生产线上各加工机器处工件块的规模以及投料规模.通过优化算法的调度,使得半导体生产线的各加工设备负载得到平衡,设备的生产效率提高,缩短加工周期,从而达到优化生产线的目的.

关键词：网格技术、半导体生产线、优化调度

所属期刊栏目：32

分类号：TP13(自动化基础理论)

资助基金：中国科学院资助项目70201004,70531020;科技部科研项目2002CB312200;上海市青年科技启明星计划04QMX1429;教育部霍英东教育基金会高等院校青年教师基金104030

在线出版日期：2006-06-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：455-461