基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化
以提高半导体生产线的成品率为目标,利用神经网络对半导体芯片生产过程进行了建模和优化.首先使用神经网络方法建立模型,确定生产线上工艺参数和成品率之间的映射关系,构造多维映射函数曲面;随后对多维映射函数曲面进行搜索,搜索成品率最高的最优点,据此确定工艺参数的规范值;最后,根据优化后的工艺参数规范进行实际生产.采用这种优化建议,半导体生产线的平均成品率由51.7%提高到了57.5%.
神经网络、芯片制造、工序能力指数、提高成品率
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TP1(自动化基础理论)
2004-03-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共7页
289-295