非完全覆盖双层微梁谐振器热弹性阻尼建模

摘要：

热弹性阻尼是决定微机械谐振器品质因子上限的关键参数之一.以往热弹性阻尼解析解只适用于完全覆盖多层微梁结构.由于制造工艺和实际功能需求,非完全覆盖双层梁为代表的复杂结构形式更普遍.基于傅里叶传热定律,推导出非完全覆盖双层微梁谐振器热弹性阻尼的解析解.同时利用数值方法和实验验证了该解析解的有效性.并分析了镀层厚度、长度和位置对热弹性阻尼的影响.

关键词：微机电系统谐振器、热弹性阻尼、品质因子、热弹性理论

所属期刊栏目：36

分类号：O326(振动理论)

资助基金：国家自然科学基金;MEMS教育部重点实验室;中国博士后科学基金资助项目

在线出版日期：2023-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：86-95