静电驱动下振梁微陀螺仪的性能分析

摘要：

研究了一种末端带有检测质量块的单轴静电悬臂梁式微陀螺仪.检测质量块受到两个固定电极的耦合作用,这两个电极均连接直流电压以使质量块产生较大的静态变形.在驱动方向上的电极还受到交流电压的作用,驱动质量块产生主振动.当有旋转发生时,在垂直于主振动的敏感方向上质量块会受到科氏力而产生1个二次振动,通过测得二次振动的幅值大小便可以测得角速度.首先,依据Hamilton原理建立了振梁微陀螺仪的控制方程,研究了旋转悬臂梁的两个横向耦合振动.其次,分析了多种参数对微陀螺仪静态变形的影响,并求得了系统前2阶固有频率.研究发现不同参数对系统固有频率的影响规律,并讨论了系统驱动和敏感方向上的动力学放大效应及其校正曲线.

关键词：振动微陀螺仪、悬臂梁、动态分析、固有频率、校正曲线

所属期刊栏目：33

分类号：O326;TB123(振动理论)

资助基金：国家自然科学基金资助项目;北京市自然科学基金资助项目

在线出版日期：2020-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：742-749