10.3969/j.issn.1004-4523.2009.02.003
考虑直流偏置电压影响的弹性悬臂微梁挤压膜阻尼新模型
正确预测MEMS器件的挤压膜阻尼在器件的设计阶段具有非常重要的意义.提出了一个新的、考虑直流偏置电压引起静态变形的挤压膜阻尼模型.运用雷诺方程和弹性梁方程的耦合,将挤压膜间隙中的二维压力函数表示为长度方向的一维抛物线函数与宽度方向的一维余弦函数之积.由于模型考虑了直流偏置电压引起的静态变形的影响,有更广的应用范围.与实验结果的对比表明,模型有足够的精度.
挤压膜阻尼、弹性悬臂微梁、MEMS
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TN402;TB53(微电子学、集成电路(IC))
国家自然科学基金资助项目60806036,50675034;江苏省高校自然科学研究计划资助项目08KJB510014
2009-06-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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