电讯系统中硅微机械谐振器/滤波器通带灵敏度分析

摘要：

以静电梳驱动折叠梁硅微机械谐振器为研究对象,在建立硅微机械谐振器振动方程的基础上,导出了幅频函数、相频函数对固有频率相对误差、品质因数相对误差的灵敏度表达式,重点分析了固有频率相对误差、品质因数相对误差在中心频率处、3dB截止频率处对幅频特性、相频特性的影响,以及对常用的3dB通带带宽的影响,得出了一些重要的结论.

关键词：MEMS、谐振器、滤波器、灵敏度

所属期刊栏目：17

分类号：O357;TN713(流体力学)

资助基金：国家自然科学基金50305002;江苏省高校自然科学基金03KJB510089

在线出版日期：2004-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：359-364